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催化剂的作用下，使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下迅速氧化成水和二氧化碳，达到治理的目的。催化燃烧法处理工业有机废气是20世纪40年代末出现的技术。
从1949年美国研制出世界上一套催化燃烧装置到现在，这项技术已广泛地应用于油漆、橡胶加工、塑料加工、树脂加工、皮革加工、食品业和铸造业等部门，也用于汽车废气净化等方面。中国在1973年开始将催化燃烧法用于治理漆包线烘干炉排出的有机废气,随后又在绝缘材料、印刷工业等方面进行了研究,使催化燃烧法得到了广泛的应用。
催化燃烧法存在的主要问题是催化剂易中毒和不耐高温。易使催化剂中毒的物质有焦油、油烟、粉尘、铅化合物和硫、磷、卤族元素的化合物等。为了保持催化剂的活性，一般都采用前处理的办法，预先除掉有毒物质。近几年来，含稀土元素的钙钛矿结构的复合氧化物催化剂的研制在提高耐高温性能等方面有所进展。中国研制的稀土元素催化剂已用于有机废气的治理。
在电子行业中造成环境污染的有机废气产生于芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程中。这些有机废气对人体的危害极为严重，所以必须进行处理后才能排放到大气中。
随着我国经济的发展，电子技术的应用越来越广泛，大量有机废气的产生，给环境造成严重的危害，对于废气的处理问题也日益严重。
催化燃烧根据废气浓度的含量不同，脱附时间也不同。活性炭的脱附过程都是在线脱附，就是当活性炭饱和后设备会自动进行脱附，不需要有人去经常查看，节省了人工费用。
活性炭进行脱附时会根据箱体的多少进行三吸一脱或者是四吸一脱等，就是脱附的时候并不是全部脱附，只有一个箱体在脱附，其余的箱体仍然在工作。这样是不会耽误工厂使用的。
