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催化燃烧废气处理设备的核心技术是催化剂的选择，不同催化剂的使用效果差别很大。目前用于催化燃烧的催化剂主要有三种：贵金属催化剂、复合氧化物催化剂和稀土催化剂，有以下几点：
1、工艺简单，操作安全。
2、可以处理成分复杂的低浓度VOCs。一般来说，低浓度的碳氢化合物、醇和酮可以通过催化燃烧进行处理。
3、净化效率高，98%以上，没有二次污染。
4、由于催化剂的存在，催化燃烧法的着火温度很低，一般在200—400℃，可以降低能耗和NOX的生成。
5、自动化控制，能耗低、操作简单，遇故障自动报警，低耗节能使用寿命长。
与以往的直接燃烧焚烧技术相比，蓄热式热氧化技术具有明显的优势。这项技术在国外已经非常成熟，但由于成本问题，在我国还没有普及，在生热氧化的概念也只是在少数工业窑炉中体现出来。在当前能源价格飞涨的背景之下，组织这项技术的研究、开发和推广，不仅可以节约能源，减少环境的污染，而且可以获得可观的经济效益和社会效益。
催化燃烧设备的使用注意事项：1、不能处理潮湿及高温的废气。因为活性炭只能进行常温吸附，而且不防水。2、活性炭脱附温度须保证80—120℃，温度过低，影响脱附效果，温度达到130℃则会引起活性炭自燃。3、不能处理含磷、铬、硫、砷、锑、汞、铅、硫、锡及卤素、氨等分子的有机废气，以及高浓度的粉尘，不能处理含有髙黏性油脂类气体。
根据工艺流程的不同，催化燃烧设备分为活性炭吸附浓缩+催化燃烧和沸石转轮吸附浓缩+催化燃烧两类，活性炭吸附浓缩+催化燃烧有根据处理废气温度分为蓄热式催化燃烧（RCO）和常规催化燃烧（CO）两类。
