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废气通过鼓风机进入氧化炉，由燃料加热，加热至250~300左右。在该温度下，废气中的有机挥发物在催化剂的作用下被氧化并分解成二氧化碳和水。同时，反应后的高温烟气进入特殊结构的陶瓷蓄热体，大部分热量被再生器吸收95%以上)，温度降低到入口附近的温度，然后通过烟囱排出，达到净化废气的目的，吸收的热量用于预热后续的废气，从而降低反应温度并减少消耗品。
催化燃烧设备其净化作用机理包含等离子体中包含大量的高能、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。有机当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成的无害气体分子。同时产生大量的OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，终生成无害产物。
注意事项为低温状态下，大量的有机物进入催化床，造成催化剂“闷死”，导致暂时失活;含硫、磷、砷、卤素化合物、重金属化合物会与活性成分反应，导致催化剂长久失活;灰尘、积炭、高沸粘性物附着于催化剂表面，覆盖催化剂活性位点，导致催化作用丧失;高温会使催化剂载体及活性成分团聚或烧结，造成活性位数量大幅减少。
除了对人类健康产生直接的影响外，工业有机废气苯系物还能够引起城市的光化学烟雾，产生二次污染对人类健康产生更大的危害。苯系物的污染范围不仅仅局限在一个城市或国家内，随着它的扩散与迁移，甚至可能引起包括大规模区域环境问题，因此苯系物的污染具有跨国性。
维护措施为低温“闷死”：正常运行前，催化床需先在新鲜风中预热至反应温度，方可通入有机物废气;含硫等毒性物质存在：通过前处理手段除掉此类物质或者选用有相应抗性的催化剂;灰尘、积炭、高沸粘性物：做好除尘等前处理;超温：当催化床温度超过600时系统停止运行或者采用新风稀释、冷却降温。
