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根据有机废气的预热方式及富集方式,催化燃烧工艺流程可分为3种：
1、预热式。
预热式是催化燃烧的基本的流程形式，有机废气温度在100℃以下、浓度也较低时，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。通常采用煤气或电加热将废气升温至催化反应所需的起燃温度；燃烧净化后的气体在热交换器内与未处理的废气进行热交换，以回收部分热量。
2、自身热平衡式。
有机废气温度高且有机物含量较高，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用，通过热交换器回收部分净化气体所产生的热量，正常操作下就能够维持热平衡，不需要补充热量。
3、吸附-催化燃烧。
当有机废气的流量大、浓度低、温度低、采用催化燃烧需消耗大量的燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上并进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气（可浓缩10倍以上）后再进行催化燃烧。不需要补充热源就可以维持正常运行。
了避免废气处理设备的功用、精度下降到规矩的临界值或下降缺点率，按事前拟定的计划和技术要求所进行的修补活动，称为设备的避免修补。国内外遍及选用的避免修补办法是情况监测修补和守时修补。近年来国外提出了以可靠性为中心的修补(RCM)和质量修补(QM)也是避免修补办法。
(1)情况监测修补
这是以废气净化设备实践技术情况为根底的避免修补办法。一般选用设备日常点检和守时检査来查明设备技术情况。针对设备的劣化部位及程度，在缺点发生前，适时地进行避免修补，扫除缺点危险，康复设备的功用和精度。
实施这种修补办法时，如选用精密监测确诊技术判别设备技术情况，亦称预知修补。
(2)定时修补
这是一种以设备运转时间为根底的避免修补办法，具有对设备进行周期性修补的特征。根据设备的磨损规矩，事前断定修补类别、修补距离期、修补内容及技术要求。修补计划按设备的计划开动时数可作较长时间的组织。
